En els equips moderns de recobriment al buit, l'etapa de desbast és una base fonamental per aconseguir un rendiment estable d'alt-buit. Una configuració molt utilitzada és la bomba de paletes rotatives de dues etapes DLT.2V80 combinada amb una bomba Roots. Aquest aparellament forma una unitat de pre-buit eficient capaç de reduir ràpidament la pressió de la cambra des del nivell atmosfèric fins al rang de buit-baix, creant les condicions necessàries per a l'etapa de bombeig d'alt-buit posterior. Entendre el procés de funcionament correcte i la lògica tècnica d'aquest sistema és essencial per mantenir la qualitat del recobriment, protegir l'equip i allargar la vida útil de la bomba.
El sistema de desbast funciona segons un principi de bombeig per etapes. La bomba de paletes rotatives de dues etapes -actua com a bomba de suport, mentre que la bomba Roots proporciona una alta velocitat de bombeig en el rang de buit mitjà--baix. Durant l'inici-, la bomba de paletes redueix primer la pressió de la cambra. Una vegada que la pressió arriba a la pressió d'inici permesa de la bomba Roots, la bomba Roots comença a funcionar, accelerant molt l'eliminació del gas. Aquest bombeig coordinat permet que la cambra passi ràpidament de la pressió atmosfèrica al rang de baix-buit necessari abans que les bombes de buit-alt (com les bombes de difusió o turbomoleculars) estiguin activades.
Un requisit clau del procés es produeix un cop finalitzada l'etapa de bombeig aproximada. Abans de passar a l'alt buit o d'entrar a l'etapa de retenció de buit, s'ha d'evacuar la canonada de desbast i equilibrar la pressió-. Aquest pas sovint es passa per alt, però és vital per evitar el refluig del buit. Si es mantenen diferències de pressió entre la línia de desbast i la cambra, l'oli de buit de la bomba de paletes rotatives pot migrar cap enrere a la cavitat de la bomba Roots, a les canonades o fins i tot a la cambra de recobriment. La contaminació del petroli pot danyar greument la qualitat de la pel·lícula fina, bloquejar els canals de gas i augmentar els costos de manteniment.
El procediment d'operació adequat comença immediatament després que la cambra assoleixi el nivell de buit rugós objectiu. La vàlvula principal de desbast que connecta la cambra amb la línia de desbast s'ha de tancar primer. Això aïlla la cambra del sistema de bomba de suport i evita fluctuacions incontrolades de pressió. A continuació, s'ha d'introduir nitrogen sec o aire comprimit net i sec a la canonada de desbast per a un procés de ventilació controlat de micro-pressió. Aquest pas lentament iguala la pressió dins de la canonada fins a un nivell proper a l'atmosfera sense introduir humitat ni contaminants.
El nitrogen sec es prefereix perquè és inert i no conté vapor d'aigua ni oxigen, ambdós poden degradar l'oli de buit i contaminar els components interns de la bomba. Si no hi ha nitrogen disponible, es pot utilitzar aire comprimit filtrat i sec, sempre que s'instal·lin trampes d'oli i humitat. L'objectiu d'aquest pas no és ventilar completament la cambra, sinó estabilitzar la pressió dins de la canonada de desbast. Només quan la pressió de la canonada torna a un nivell segur, el sistema ha de passar al mode de retenció de buit o a l'aturada.
La importància d'aquest procés de recuperació de la pressió de la canonada va més enllà de la neteja. També protegeix la integritat mecànica del sistema de bombeig. Les bombes de paletes rotatives depenen de l'oli de buit per segellar, lubricar i refredar. Els diferencials de pressió sobtats poden provocar la migració del petroli, la formació d'escuma o el retrocés. Les bombes Roots, que funcionen sense lubricació interna a la cambra de compressió, són especialment vulnerables a la contaminació de l'oli de la bomba de suport. Mitjançant l'estabilització de la pressió abans de l'aïllament, els operadors redueixen el desgast, eviten l'enganxament de la bomba i minimitzen la freqüència de manteniment.
En comparació amb els sistemes de desbast de bomba única-, la combinació de paleta rotativa i bomba Roots ofereix una velocitat de bombeig més alta, un temps d'inactivitat de la bomba-més curt i una estabilitat millorada en els cicles de recobriment industrial. Tanmateix, aquest rendiment més elevat també requereix una disciplina operativa més estricta. La ventilació de la canonada, la seqüenciació de vàlvules i la protecció de gas sec no són passos opcionals; són part integral del disseny del procés.
Des d'una perspectiva de la indústria, el control de la contaminació s'ha tornat cada cop més important a mesura que les tecnologies de recobriment avancen cap a una major precisió i pel·lícules més fines. Fins i tot el vapor d'oli pot afectar l'adhesió, el rendiment òptic o les propietats elèctriques de les capes dipositades. Per tant, els procediments de desbast estandarditzats ara es consideren part del control de qualitat en la producció de recobriments al buit.
En resum, l'etapa de desbast amb una bomba de dues-etapes DLT.2V80 i una combinació de bomba Roots és més que un simple pas pre-buit. Es tracta d'un procés acuradament controlat que implica bombament per etapes, aïllament de vàlvules, ventilació de gas sec i estabilització de pressió. Seguir aquestes directrius operatives garanteix unes condicions de buit netes, protegeix els components crítics de la bomba i garanteix un rendiment coherent del recobriment durant cicles de producció llargs.